Wafer Transfer TS-1200
Wafer Transfer TS-1200
全自動(dòng) Wafer 傳送，可用于 12 寸 wafer 進(jìn)行整理、分并、 合并，半導體各生產(chǎn)設備的上料、下料，FOSB、FOUP 相互 交換等。
主要特點(diǎn)
1. 采用雙臂 Wafer 搬運機器人；
2. 可采用 SEMI 標準 Load Port；
3. 非接觸式 Pre Aligner；
4.Wafer ID Reader（可選）
5. 模塊化設計，可實(shí)現多工藝搭配使用；
主要配置
·雙臂 Wafer 搬運機器人，非接觸 Pre Aligner，Wafer ID Reader，SEMI 標準 Load Port
規格參數
- 姓名
- 電話(huà)號碼
- 電子郵箱
- 公司名稱(chēng)
- 地址
- 留言*
上一個(gè)：
6-8寸晶圓邊緣檢查機
下一個(gè)：
8-12寸晶圓檢驗機（切割前）
公司地址：廈門(mén)火炬高新區(翔安)產(chǎn)業(yè)區 翔安北路3689號(廠(chǎng)房A)101-1 |
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